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高纯氯气在电子工业中的用途

时间:2019-07-26 15:31 点击:

在电子工业中,高纯氯气主要用于电子工业干刻、光导纤维、晶体生长和热氧化。


干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。


干刻又叫干法蚀刻,是指气固反应,气相产物主要有GaCl2,AsCl2和氢气,使用氯气做等离子蚀刻时,通常采用5%的高纯氯气+95%的氦气。用氯气氧化降解制备纳米微晶纤维素。


中国专利公开了用氯气氧化降解制备纳米微晶纤维素的方法,与水解法制备纳米微晶纤维素相比,氯气氧化降解法利用了氯气水解所产生的次氯酸钠的漂白作用,可以使制得的纳米微晶纤维素光亮、洁白。氯气还用于大规模集成电路、光纤、高温超导等技术领域。


高纯氯气属于剧毒品,希望各个企业在经营中一定要严格遵守国家制度。山东言赫化工有限公司专业经营高纯氯气,价格合适、质量保证,如您有采购需求可以随时联系我们!


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